XIVER wdraża litografię DUV firmy ASML w swojej fabryce w Eindhoven
Holenderska odlewnia specjalizująca się w produkcji układów półprzewodnikowych, XIVER, zakupiła urządzenie litograficzne ASML PAS 5500 wykorzystujące technologię DUV (głębokiego ultrafioletu). Nowy sprzęt umożliwi wytwarzanie dokładniejszych struktur w urządzeniach fotonicznych i półprzewodnikowych. Uruchomienie urządzenia zaplanowano na 2027 rok.
Stepper DUV uzupełni posiadany już przez XIVER sprzęt do litografii i-line. Spółka twierdzi, że będzie jedyną średniej wielkości odlewnią działającą w modelu pure-play, która zaoferuje litografię DUV we własnym zakładzie. Nowe urządzenie pozwoli na wytwarzanie drobniejszych struktur i dokładniejsze ich pozycjonowanie niż w przypadku obecnie wykorzystywanego sprzętu. Umożliwi również dwustronne odwzorowywanie wzorów na płytkach oraz trójwymiarową mikromachiningową obróbkę z rozdzielczością poniżej jednego mikrometra.
“Nowe urządzenie DUV pozwala nam tworzyć struktury, które wcześniej wykraczały poza praktyczne możliwości naszej technologii litograficznej” – powiedział Joost van Beek, dyrektor ds. technologii (CTO) w XIVER.
Jak wyjaśnił, w fotonice technologia ta umożliwi dokładniejsze kształtowanie geometrii falowodów, ograniczenie strat propagacyjnych oraz stosowanie mniejszych promieni gięcia. Gdy takie rozwiązania przechodzą z etapu prototypowania do produkcji, nowe możliwości pomogą również zapewnić powtarzalność i stabilność parametrów wymagane w przypadku zaawansowanych produktów o coraz mniejszych strukturach.
Stepper znajdzie zastosowanie nie tylko przy produkcji komponentów fotonicznych, takich jak falowody i elementy optyki metapowierzchniowej dla krótkofalowej podczerwieni. Będzie również wykorzystywany do wytwarzania mikrourządzeń na płytkach CMOS, w tym struktur czujnikowych.
XIVER będzie mogła tworzyć struktury o wymiarach poniżej jednego mikrometra zarówno w standardowych materiałach, takich jak krzem i azotek krzemu, jak i w mniej typowych, w tym w złocie oraz cienkowarstwowym niobianie litu.
“Uważamy, że nasz model produkcji sprawdza się, ponieważ angażujemy się we współpracę z klientami już na bardzo wczesnym etapie projektowania. Wdrożenie litografii DUV rozszerza możliwości, które możemy zaoferować, dając klientom większą swobodę w opracowywaniu wyróżniających się projektów przy jednoczesnym zachowaniu jasnej ścieżki do skalowalnej produkcji” – powiedział Wil van de Wiel, dyrektor generalny XIVER.
XIVER powstała w wyniku wydzielenia działalności z Philipsa, prowadzonej na terenie kompleksu High Tech Campus w Eindhoven. Na początku 2025 roku firmę przejęli holenderscy inwestorzy. Od tego czasu spółka rozwija możliwości produkcyjne, dostosowując je do planów rozwoju swoich klientów i przewidywanego zapotrzebowania na moce wytwórcze.
