Imec i Tokyo Electron przedłużają strategiczne partnerstwo
Belgijski instytut badawczy Imec oraz japońska firma Tokyo Electron (TEL), dostawca sprzętu do produkcji półprzewodników, ogłosili przedłużenie swojego strategicznego partnerstwa. Nowa faza współpracy potrwa pięć lat i będzie skoncentrowana na wspólnych pracach badawczo-rozwojowych nad technologiami układów scalonych o wielkości poniżej 2 nanometrów.
Współpraca między Imec a Tokyo Electron trwa od 1995 roku. W jej ramach partnerzy prowadzili prace w takich obszarach jak techniki odwzorowywania struktur (patterning), układy logiczne, pamięci i integracja trójwymiarowa. Efektem tych działań były m.in. przełomy w technologii litografii EUV z wysoką aperturą numeryczną (High NA EUV), w procesach trawienia, obróbki mokrej oraz nanoszenia warstw.
Jednym z istotnych rezultatów współpracy było wspólne opracowanie technologii nakładania warstw światłoczułych (resist coating) dla EUV, charakteryzującej się znacznie lepszą kontrolą defektów. Technologia ta odegrała kluczową rolę w komercjalizacji litografii EUV w produkcji układów scalonych.
W nowej fazie partnerstwa Imec i TEL planują skoncentrować się na rozwoju narzędzi i procesów technologicznych wspierających kolejne etapy miniaturyzacji układów półprzewodnikowych. Wspólne prace będą obejmować technologie High NA, usprawnienia materiałowe, dalszą redukcję defektów oraz zaawansowane metody nanoszenia i trawienia warstw w urządzeniach typu CFET (Complementary FET).
Obie instytucje deklarują również kontynuację działań na rzecz zrównoważonego rozwoju. Współpraca ma objąć badania nad bardziej przyjaznymi dla środowiska procesami produkcji układów półprzewodnikowych.
„Przedłużenie współpracy jest kolejnym dobrym przykładem zaangażowania imec w budowanie międzynarodowych partnerstw badawczo-rozwojowych, które przynoszą korzyści całemu ekosystemowi półprzewodników. Dzięki zacieśnieniu współpracy z TEL możemy zdobyć cenne informacje, które wzmocnią inne flagowe inicjatywy, takie jak pilotażowa linia NanoIC w ramach europejskiej ustawy o chipach. Dzięki temu partnerstwo to jest naprawdę korzystne dla obu stron: wzmacnia pozycję TEL jako lidera technologicznego, a jednocześnie umacnia pozycję imec jako globalnego centrum zaawansowanych badań nad półprzewodnikami, napędzając innowacje w następnej dekadzie” – powiedział Luc Van den hove, dyrektor generalny imec.
„Cieszymy się z przedłużenia współpracy z imec, światowym liderem w dziedzinie badań nad półprzewodnikami. Umowa ta wzmacnia nasze zaangażowanie w utrzymanie pozycji lidera innowacji, przyspieszając jednocześnie rozwój technologii o kluczowym znaczeniu dla zaawansowanych węzłów. Wykorzystując doświadczenie imec w zakresie optymalizacji procesów i zrównoważonego rozwoju, jesteśmy przekonani, że możemy dostarczać rozwiązania spełniające wymagania naszych globalnych klientów w zakresie wydajności i ochrony środowiska” – dodał Toshiki Kawai, prezes i dyrektor generalny Tokyo Electron.