Nowy sprzęt w laboratoriach pomiarowych VIGO System

W ramach programu Processing 2.0 VIGO realizuje projekt inwestycyjny pt. „Wdrożenie opracowanej w ramach projektu “Narażenia” technologii produkcji chipów detekcyjnych” w ramach Poddziałania 3.2.2 Kredyt na Innowacje Technologiczne Programu Operacyjnego Inteligentny Rozwój 2014 – 2020 współfinansowanego ze środków Europejskiego Funduszu Rozwoju Regionalnego. Dla zapewnienia odpowiedniej szybkości prowadzenia prac badawczo-rozwojowych (B+R) konieczna była rozbudowa laboratoriów pomiarowych. Istotnym zakupem w ramach projektu Processing 2.0 był Wysokopróżniowy Skaningowy Mikroskop Elektronowy (SEM). Dotychczas badania z wykorzystaniem SEM prowadzone były w zaprzyjaźnionych instytucjach zewnętrznych. Prowadzenie badań na miejscu pozwoli na znaczne przyspieszy rozwój produktów zarówno nowych jak i obecnych – wyjaśnia VIGO System w komunikacie. Mikroskop jest niezbędnym elementem procesu kontroli jakości. Zakupiony mikroskop wyposażony jest w źródło zimnej emisji polowej (CFE), detektory elektronów wtórnych (SE), detektory elektronów wstecznie rozproszonych (BSE). W niedalekiej przyszłości planowana jest rozbudowa systemu o dodatkowe detektory, które pozwolą na poszerzenie możliwości badawczych. Ponadto SEM wyposażony jest w śluzę, która pozwala na szybkie wprowadzenie próbki, co dodatkowo zwiększa szybkość prac B+R. SEM – Regulus 8230 – wyprodukowany przez Japońską firmę Hitachi w obecnej konfiguracji pozwala na obrazowanie preparatów z uwzględnieniem kontrastów materiałowych i topograficznych. Celem pomiarów będą prace badawczo-rozwojowe oraz analiza awarii detektorów próbnych, a w efekcie zapobieganie awarii w nowszych iteracjach detektorów. W VIGO prowadzone są prace nad wdrożeniem do produkcji laserów o emisji powierzchniowej – VCSEL (ang. Vertical Cavity Surface Emitting Laser). Kluczowym elementem wytworzenia tychże laserów jest apertura, która powstaje przez utlenienie jednej z warstw. Utleniona część warstwy będzie się charakteryzować ciemniejszym odcieniem na obrazie mikroskopowym. Na poniższym obrazie można zaobserwować, że warstwy utleniają się z różną szybkością i jedna z nich utlenia się szybciej, co jest celowym zabiegiem i sposobem wytworzenia apertury. © VIGO System