EIT+: najnowocześniejszy w Polsce cleanroom

W środę, 16 września wrocławskie Centrum Badań EIT+ zaprezentowało po raz pierwszy laboratoria, które będą wchodzić w skład strefy typu cleanroom. Będą tam prowadzone badania z użyciem najnowocześniejszego klastra epitaksji MBE (osadzanie warstw za pomocą wiązek molekularnych) oraz reaktora MOCVD (osadzanie związków metaloorganicznych z fazy gazowej). Uzupełnienie stanowić będzie linia technologiczna, w skład której wchodzą między innymi: fotolitografia oraz nanoimprint, czyszczenie i wytrawianie podłoży na mokro oraz na sucho poprzez wytrawianie jonami wspomaganymi plazmą (ICP-RIE), osadzanie warstw metalicznych poprzez naparowanie (PVD) oraz z użyciem plazmy (ICPECVD), charakteryzacja wytwarzanych struktur i tzw. back-end. - Te obszary będą stanowić jedne z głównych tematów badawczo-rozwojowych w EIT+. W tej chwili przygotowujemy do pracy najnowocześniejsze w Polsce laboratoria typu clean room. To rodzaj pomieszczeń o kontrolowanych parametrach środowiskowych, w szczególności zanieczyszczeń typu: pył, kurz, bakterie, opary chemiczne, itp. Dzięki nim będziemy mogli prowadzić specjalistyczne badania naukowe nad materiałami wymagającymi wysokiej czystości – mówi prof. Detlef Hommel z Wrocławskiego Centrum Badań EIT+. Pomieszczenia czyste (z ang. cleanroom), w których prowadzi się stałą kontrolę zanieczyszczeń typu: pył, kurz, bakterie, opary chemiczne, ale także rodzaj światła, kierunek przepływu powietrza, temperatura, ciśnienie, używane są do badań naukowych z materiałami wrażliwymi na zanieczyszczenia i wpływ warunków zewnętrznych. Można je wykorzystywać przede wszystkim przy produkcji materiałów o wysokiej czystości np. procesorów, tranzystorów oraz mikroczipów. W EIT+ strefę typu cleanroom będą tworzyć Laboratorium Epitaksji oraz Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych, a użytkownicy będą mieli do dyspozycji pomieszczenia w klasach czystości od ISO5 do ISO7 o łącznej powierzchni ok. 580 m kw. Strefa cleanroom została utworzona w ramach projektu „DCMiB – Dolnośląskie Centrum Materiałów i Biomateriałów Wrocławskie Centrum Badań EIT+” w ramach Programu Operacyjnego Innowacyjna Gospodarka. Jej koszt wyniósł 35 mln PLN. Wrocławskie Centrum Badań EIT+ powstało w 2007 r. To spółka, która ma wspomagać na Dolnym Śląsku rozwój gospodarki opartej na wiedzy, poprzez działanie w każdym z trzech jej głównych elementów: nauce, innowacji i edukacji. Udziałowcami spółki jest pięć wrocławskich uczelni - Politechnika Wrocławska, Uniwersytet Medyczny im. Piastów Śląskich, Uniwersytet Przyrodniczy, Uniwersytet Wrocławski i Uniwersytet Ekonomiczny oraz miasto Wrocław. --- Źródło: EIT+