Superkondensatory w scalakach

Naukowcom z VTT Technical Research Centre w Finlandii opracowali ciekawe struktury superkondensatorów w mikro formacie. Mają być kompatybilne z CMOS i być zintegrowane w strukturze układów scalonych. Miejscem ich usadowienia mają być puste niewykorzystane miejsce (objętości) w układach scalonych. Zamiast tracić niepotrzebnie to miejsce, będzie mogło ono służyć jako magazyny energii. Struktura takich superkondensator(k)ów ma się składać z wydrążeń w krzemie, których ściany boczne będą traktowane jako elektrody (jako nanomateriał hybrydowy) PS (Porous Silicon). Pokryte one też mają być cieniutką warstwą azotku tytanu (z wykorzystaniem procesu ALD). Grubości tak wydrążonych tuneli i ich długość mają definiować pojemność tak stworzonego kondensatora. Całość opierać się ma na połączeniu technik MEMS oraz technik nanofabrykacji. Pewną trudnością okazała się realizacji procesu ALD, jednak udało się to rozwiązać z wykorzystaniem dodatkowych technik. Cały proces nie wymaga przekroczenia temperatury 450 stopni Celsjusza, co czyni go procesem kompatybilnym z CMOS. Naukowcom udało się osiągnąć tymi technikami bardzo dobre wyniki pojemnościowe. Gęstość energii wynosić ma 1.3mWh cm^-3, zaś gęstość mocy 214 W/cm^-3. Stabilność powinna być zachowana do 50 tysięcy cykli. © VTT